日本富士多成分浓度计FUD-1 Model-53的产品简介：

　　保养性和高精度内线测量等FUD-1 Model-53的好处就那样，作为半导体制造工艺把小型单元型发信器作为特长的模型。

　　内置FUD-1 Model-53导电率计

　　日本富士多成分浓度计的特点：

　　实时3成分中的2成分浓度计侧可能

　　标准配备模拟DC4～20mA(2系统)及数字RS232C

　　标准配备测量错误输出和警报输出

　　标准装备自己诊断功能·错误信息表示

　　小型·轻量小区型发信器在线直接设置可能

　　采用PFA的接液构件、小输出设计对药液没有影响

　　优点：

　　高精度连续计测可能

　　无需定期调整、校对，无需维护

　　设置时的各种调整等不需要也容易设置

　　由于实时输出的工程的反馈也容易

　　用途：

　　CMP工序CMPー及氧化剂浓度管理等

　　清洗过程中的清洗液浓度管理等(HF+HNO3・HF+H2SiF6等)

　　蚀刻工序中的蚀刻液浓度管理等(TMAH+注册・TMAH+Si等)

　　规格：

　　型式FUD-1 Model-53

　　转换器

　　测量参数超声波传播速度、温度、导电率

　　显示：LCD(浓度1・浓度2・温度・音速・导电率/各种参数)

　　输出信号模拟DC4～20mA：2系统(可对浓度值自由设定)

　　数字RS232C(浓度1、浓度2、音速、温度、导电率、错误代码)

　　警报上下限测量异常：2系统

　　电源AC100V～240V 50/60Hz两用30VA(DC24V也可使用)

　　结构：面板挂载型(根据DIN标准)

　　环境温度转换器0～50℃

　　RH85%以下(未结露)

　　功能输出范围设定功能、警报输出设定功能、浓度显示移动平均功能、浓度显示偏移及增益设定功能、自我诊断功能、安全功能、异常值取消功能、温度时常数修正

　　选项温度输出(DC4～20mA)

　　RS485输出(不能与RS232C同时输出)

　　通道(检量线)大7ch

　　适配发信器例子SA-20S29+导电率计、SA-20S27+导电率计

　　http://www.shyilide03.cn/SonList-1895852.html

　　https://www.chem17.com/st392841/product_32297194.html