海德汉是拥有一百多年光刻制造技术的德国公司。以生产高精度的产品而著名，产品主要包括HEIDENHAIN直线光栅尺、HEIDENHAIN长度计、HEIDENHAIN角度编码器、海德汉旋转编码器、HEIDENHAIN数控系统、海德汉3D测头和海德汉数显装置等。  

海德汉公司的光学扫描型光栅尺或编码器的测量基准都是周期刻线-光栅。这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。  

这些精密光栅通过多种光刻工艺制造。光栅的制造方式有：  

在玻璃上镀硬铬线  

在镀金钢带上蚀刻线条  

在玻璃或钢材基体上蚀刻三维结构图案  

海德汉公司开发的光刻工艺生产的典型栅距为50um~um。  

这些光刻工艺制作的光栅距非常小，而且线条边缘清晰均匀。再加上光电扫描法，这些边缘清晰的刻线是输出高质量信号的关键。  

旋转编码器的位置测量精度主要取决于：  

径向光栅的方向偏差  

刻线码盘相对轴承的偏心  

轴承径向偏差  

与联轴器的连接导致的误差  

编码器内和编码器外细分和数字化电路中的细分误差  

ECN/EQN/ERN系列旋转编码器有内置轴承和安装式定子联轴器。它能补偿径向跳动和对正误差且几乎不影响精度。编码器轴直接连接被测量轴。轴角加速期间，定子联轴器必须只吸收轴承摩擦所导致的扭矩。定子联轴器允许被测轴轴向窜动量为：

产品详情：http://www.sh-mjy.cn/Products-33002245.html 

https://www.chem17.com/st415401/product_33002245.html