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当废水的排放或再用的水质要求较低时，只需用筛除和沉淀等方法去除粗大杂质和悬浮物（常称一级处理）；当要求去除有机物时，一般在一级处理后采用生物处理法（常称二级处理）和消毒；对经过生物处理后的废水，所进行的处理过程统称三级处理或深度处理，如当废水排入的水体需要防止富营养化所进行的去除氮、磷过程即属于三级处理（见水的物理化学处理法）。当废水作为水源时，成品水水质要求以及相应的加工流程随其用途而定。O3+混凝法基于O3对亲水性物质强烈的破坏力，当亲水性物质转变成疏水性时，混凝沉淀效果将大大改善。理论上，现代的水处理技术，可以从任何劣质水制取任何高质量的成品水。
活性炭滤器如果吸附能力明显下降，必须更新。O3+生物活性炭法主要过程是：先往水中投加臭氧，其强氧化性使复杂有机物分子断链成小分子，从而易于生物降解，同时提高了水中溶解氧浓度。测定进水及出水的TOC浓度差（或xijun数量差）是考量更换活性炭的依据之一。有些逆渗透膜对氯的耐受性不佳，所以在逆渗透之前要有活性碳的处理，使氯能够有效的被活性炭吸附，但是活性碳上的孔洞吸附的xi菌容易繁殖滋长，同时对於分子较大有机物的清除，活性炭的功效有限，所以必须*逆渗透膜在後面补强。
我国瓶装水采用臭氧消毒净化，杀菌净化工艺较为普遍，粗略估算，矿泉水、纯水、洁净水厂一千多家，约60%采用臭氧杀菌工艺。在O3+超声波[8]处理法中，超声功率的增大可增加反应速度，O3通人量增大可加深生物反应程度，提高复杂有机物去除率。由于技术监督、防疫部门已形成共识，没有臭氧设备的瓶装水厂将很难在市场上竞争。随着瓶装水市场的发展，国内发展了一大批臭氧设备生产企业。臭氧发生器、投加混合设备品种繁多，质量参差不齐。其关键在于处理水应达到（2.7～
4.5）×10-5mol/L(0.3～0.5mg/L)的臭氧溶解度值，这首先要求投加臭氧量应满足1m3
水2g O3的条件，同时必须保证水气充分接触并保持一定时间。根据实践经验，臭氧发生浓度高于8 mg/L时容易达到溶解度要求
游泳池水臭氧消毒应用已得到广泛普及，其处理效果和优点已被公认，国外应用极为普遍。我国广州天河游泳馆、北京亚运村游泳馆等都采用臭氧消毒，池水清澈透明，解决了氯消毒刺激眼睛、皮肤及设施发黄的难题。
目前美国冷却塔协会推荐臭氧处理冷却循环水技术，可以达到阻垢、杀菌除藻、防腐蚀与稳定水质的目的，美国臭氧公司已有计算机控制监测的臭氧冷却塔冷却循环水系统在运行，我要很多单位在进行实验研究，总结经验。
