SEM的常见故障包括镜筒内部污染、电子枪故障、电磁透镜故障等，这些故障会影响成像质量和测量精度。维修时，应使用专用工具进行清洁和检查，确保设备各部件正常工作。

　　维修SEM时，还需注意环境控制，保持室内温度、湿度稳定，避免阳光直射和灰尘污染。同时，应定期对设备进行校准和调整，以提高成像质量和测量精度。

　　在维修过程中，应严格遵守安全规定，避免触电、短路等安全事故的发生。此外，应详细记录维修信息，包括故障原因、维修过程、更换的部件等，以便为未来的维修和保养提供参考。